质谱中的前级真空泵
感谢您关注紫泰科技，我是陶工。这期来介绍一下前级泵，前级泵的目的是产生一个粗真空，当到达粗真空要求后分子涡轮泵开始工作，将真空腔抽到工作真空状态，所以在每次质谱开启的时候，它是由质谱来进行供电的，所以按下质谱后前级泵就开始工作，等它将系统降低到目标真空后，仪器内部的分子涡轮泵才开始工作。
前级真空泵工作原理分很多种，最长见的是旋片式真空泵。
旋片式真空泵是油密封的旋转式容积泵，泵系统包括壳体、一个偏心安装的转子，在离心力和弹力作用下径向移动的叶片，以及入口和出口，入口阀被设计为真空安全阀，该阀在泵运行过程中始终处于打开状态，工作室位于壳体内，并受到定子、转子和叶片的限制，偏心安装的转子和叶片将工作室分为具有可变容积的两个独立腔，当转子转动时，气体流入扩大的吸入室直至其被第二个叶片封住，封闭气体然后进行压缩，直到出口阀冲破大气压力而开启，出口阀是油封的。
旋片式真空泵可广泛用于整个低、中真空范围，单级或双级泵都可以使用，这取决于所涉及的压力范围，单级油封旋片式真空泵具有0.3 hPa 的极限压力，双级旋片式真空泵适合于压力低至 10-3hPa，旋片式真空泵需要有泵油配合使用，不同类型的油不得混合，因为这样有可能对泵系统造成损害。
涡旋型真空泵是一种干泵，工作过程不需要工作液的支持，涡旋真空泵由一个固定涡旋和一个动涡旋构成，动涡旋在固定涡旋中转动，当动涡旋运动时，真空泵入口处会形成真空，因此泵送介质不断地从外部通过两个涡旋体之间的空间传送，最后它将在两个旋盘中间的排放口排出，这种泵工作声音很小，可以根据您自己的需要进行选配。
隔膜真空泵是干式真空泵，曲轴驱动的连杆移动在上盖和壳体之间张紧的隔膜，上盖和隔膜之间的空间形成吸入室，隔膜泵需要入口阀和出口阀以实现目标气体排量，由弹性体材料制成的压力控制断流阀构成此阀，由于吸入室通过各隔膜与驱动器严密密封开来，泵介质不会受到油的污染，侵蚀性介质也不会腐蚀机械结构。
螺杆真空泵，两个平衡轴承支撑的相互啮合螺杆转子，具有同步相反的螺杆并在将其围住的圆柱形壳体内无接触地反向旋转，所有这些一起构成一个多级泵，由于两个转子的反向旋转，密封在每个螺旋中的容积随着转子向出口推进，该泵在入口或出口处都没有阀门，当排气容积达到出口开口处时，压力与大气压平衡，这意味着环境空气流入排气容积，然后随着转子转动再次排放。
在罗茨真空泵中，两个同步反向旋转的转子在壳体中非接触旋转，该转子具有 8 字形结构，且相互之间以及与转子之间由窄间隙分离开来，该泵将气体从入口送到泵出口，一个轴由电机驱动，另一轴通过齿轮箱中的一对齿轮同步转动，润滑仅限于两个轴承和齿轮箱，由于吸入室中无摩擦，罗茨真空泵可在高转速下操作，无往复运动质量还能提供无故障的动态平衡，这意味着罗茨真空泵尽管其具有高转速，但运转极其安静。
质谱中的前级真空泵
感谢您关注紫泰科技，我是陶工。这期来介绍一下前级泵，前级泵的目的是产生一个粗真空，当到达粗真空要求后分子涡轮泵开始工作，将真空腔抽到工作真空状态，所以在每次质谱开启的时候，它是由质谱来进行供电的，所以按下质谱后前级泵就开始工作，等它将系统降低到目标真空后，仪器内部的分子涡轮泵才开始工作。
前级真空泵工作原理分很多种，最长见的是旋片式真空泵。
旋片式真空泵是油密封的旋转式容积泵，泵系统包括壳体、一个偏心安装的转子，在离心力和弹力作用下径向移动的叶片，以及入口和出口，入口阀被设计为真空安全阀，该阀在泵运行过程中始终处于打开状态，工作室位于壳体内，并受到定子、转子和叶片的限制，偏心安装的转子和叶片将工作室分为具有可变容积的两个独立腔，当转子转动时，气体流入扩大的吸入室直至其被第二个叶片封住，封闭气体然后进行压缩，直到出口阀冲破大气压力而开启，出口阀是油封的。
旋片式真空泵可广泛用于整个低、中真空范围，单级或双级泵都可以使用，这取决于所涉及的压力范围，单级油封旋片式真空泵具有0.3 hPa 的极限压力，双级旋片式真空泵适合于压力低至 10-3hPa，旋片式真空泵需要有泵油配合使用，不同类型的油不得混合，因为这样有可能对泵系统造成损害。
涡旋型真空泵是一种干泵，工作过程不需要工作液的支持，涡旋真空泵由一个固定涡旋和一个动涡旋构成，动涡旋在固定涡旋中转动，当动涡旋运动时，真空泵入口处会形成真空，因此泵送介质不断地从外部通过两个涡旋体之间的空间传送，最后它将在两个旋盘中间的排放口排出，这种泵工作声音很小，可以根据您自己的需要进行选配。
隔膜真空泵是干式真空泵，曲轴驱动的连杆移动在上盖和壳体之间张紧的隔膜，上盖和隔膜之间的空间形成吸入室，隔膜泵需要入口阀和出口阀以实现目标气体排量，由弹性体材料制成的压力控制断流阀构成此阀，由于吸入室通过各隔膜与驱动器严密密封开来，泵介质不会受到油的污染，侵蚀性介质也不会腐蚀机械结构。
螺杆真空泵，两个平衡轴承支撑的相互啮合螺杆转子，具有同步相反的螺杆并在将其围住的圆柱形壳体内无接触地反向旋转，所有这些一起构成一个多级泵，由于两个转子的反向旋转，密封在每个螺旋中的容积随着转子向出口推进，该泵在入口或出口处都没有阀门，当排气容积达到出口开口处时，压力与大气压平衡，这意味着环境空气流入排气容积，然后随着转子转动再次排放。
在罗茨真空泵中，两个同步反向旋转的转子在壳体中非接触旋转，该转子具有 8 字形结构，且相互之间以及与转子之间由窄间隙分离开来，该泵将气体从入口送到泵出口，一个轴由电机驱动，另一轴通过齿轮箱中的一对齿轮同步转动，润滑仅限于两个轴承和齿轮箱，由于吸入室中无摩擦，罗茨真空泵可在高转速下操作，无往复运动质量还能提供无故障的动态平衡，这意味着罗茨真空泵尽管其具有高转速，但运转极其安静。
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